Разработка и исследование технологических основ создания углеродных наноструктур для чувствительных элементов сенсоров газов сорбционного типа

Цель: разработка и исследование технологических основ синтеза углеродных наноструктур на основе нанотрубок для чувствительных элементов сенсоров газов сорбционного типа. Установлены закономерности взаимодействия материалов в структуре Ni/ITO/Si с помощью термодинамического анализа с учетом режимов методов плазменного химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) и особенностей применяемых материалов, закономерности образования каталитических центров никеля в системе Ni/ITO/Si с учетом режимов термической обработки метода плазменного ХОГФ. Предложены макет чувствительных элементов сенсоров газов сорбционного типа на основе углеродных наноструктур, технологический маршрут изготовления газочувствительного элемента сенсора газов сорбционного типа на основе углеродных наноструктур с использованием нанотехнологического комплекса НАНОФАБ НТК-9. Результаты используются в ЗАО «Нанотехнологии – МДТ», ООО «Центр нанотехнологий», а также на кафедре НТМСТ ЮФУ.