Генерация газометаллической плазмы в дуговых разрядах низкого давления для синтеза многокомпонентных нанокристаллических защитных покрытий

07.11.2016

Цель: проведение комплексных исследований генерации газометаллической плазмы в дуговых разрядах для осаждения сверхтвердых нанокристаллических покрытий, разработка процессов вакуумно-дугового плазменно-ассистированного нанесения защитных покрытий и выявление влияния режимов плазменного ассистирования на свойства нитридных покрытий. Исследованы характеристики катодных пятен и генерация плазмы вакуумной дугой при испарении спеченных порошковых Ti - Cu-катодов с концентрацией меди до 12 ат. %. Определено влияние плазменного ассистирования на структуру и характеристики нитридных покрытий. Разработан способ вакуумно-дугового плазменно-ассистированного осаждения нанокристаллических защитных Ti - Cu - N-покрытий, отличающихся сверхтвердостью, высокими износостойкостью, адгезионной прочностью, термической стабильностью и стойкостью к окислению.

ГРНТИ

29.27.49 Диагностика плазмы

29.27.51 Применение плазмы

29.19.16 Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела

Ключевые слова

ДУГОВОЙ РАЗРЯД

ГАЗОМЕТАЛЛИЧЕСКАЯ ПЛАЗМА

КАТОДНОЕ ПЯТНО

ВАКУУМНО-ДУГОВОЕ ОСАЖДЕНИЕ

ПЛАЗМЕННОЕ АССИСТИРОВАНИЕ

ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ

НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА

НИТРИД ТИТАНА

СПЕЧЕННЫЕ КОМПОЗИЦИОННЫЕ КАТОДЫ

СВЕРХТВЕРДОСТЬ

Детали

Автор

Крысина Ольга Васильевна

Вид

Кандидатская

Целевое степень

Кандидат технических наук

Дата защиты

05.10.2016

Организация защиты

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники"

Организация автора

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук

Похожие документы

Проект РФФИ № 18-48-700016 р_а "Фундаментальные исследования плазменно-ассистированного синтеза многослойных износостойких покрытий на основе нитрида молибдена из газо-металлической плазмы дуговых разрядов низкого давления"

0.932

НИОКТР

Разработка физических основ метода синтеза композитных наноструктурированных наноразмерных покрытий TiN-Cu на основе магнетронного разряда с инжекцией пучка ускоренных ионов в магнетрон

0.924

НИОКТР

Моделирование и экспериментальное исследование процессов формирования и свойств металлических нано- и микродисперсных порошков, разработка фундаментальных основ технологических процессов получения на их основе новых композиционных материалов и защитных покрытий

0.923

ИКРБС