Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления

Цель: разработка методики магнетронного осаждения покрытий оксинитрида титана с повышенными эксплуатационными характеристиками. Доказана эффективность применения магнетронной распылительной системы со смещением на подложке для повышения твердости и снижения коэффициента трения оксидных и оксинитридных тонкопленочных покрытий. Разработана методология исследования физико-механических свойств покрытий диоксида и оксинитрида титана, осажденных реактивным магнетронным распылением. Определены режимы осаждения пленок оксинитрида титана, при которых достигаются относительно малые коэффициенты трения (0,14) и высокие значения твердости (29 ГПа) пленок. Предложена методика послойного измерения спектров комбинационного рассеяния наноструктурированных пленок диоксида и оксинитрида титана, предполагающая предварительное распыление пленки ионным пучком инертных газов (аргона).