Монолитная интегральная схема малошумящего усилителя на нитриде галлия для диапазона 57 - 64 ГГц

Цель исследования - разработка на нитриде галлия МИС малошумящего усилителя (МШУ) и МИС МШУ со встроенной антенной для диапазона частот 57 - 64 ГГц, их экспериментальное исследование.Предложен способ проектирования МИС на нитриде галлия на подложке сапфира со сквозными отверстиями и общей заземляющей плоскостью, который позволил создать МШУ и МШУ со встроенными антеннами диапазона 57 - 64 ГГц. Разработаны модели транзистора на нитриде галлия со сквозными отверстиями, корректно описывающие СВЧ-параметры транзисторов и позволяющие разрабатывать МИС на частоты до 67 ГГц. Получены результаты зондовых исследований разработанных МИС МШУ и МШУ со встроенной антенной для диапазона 57 - 64 ГГц, показавшие достижение коэффициента передачи 16 дБ, коэффициента шума 6,5 дБ и кардиоидной формы диаграммы направленности встроенной антенны.Представленные результаты внедрены в ИСВЧПЭ РАН, а разработанные образцы МИС МШУ и МШУ со встроенной антенной использовались при выполнении ОКР «Разработка комплекта монолитных интегральных схем 5-мм диапазона длин волн» и ПНИ «Разработка конструктивно-технологических принципов создания однокристальных приемо-передающих модулей для современных широкополосных систем беспроводной связи и передачи информации в диапазоне частот 57 - 64 ГГц».