Диссертация
№ АААА-В17-417011150090-7Электронно-энергетическое строение и фазовый состав аморфных нанокомпозитных пленок a-SiOx–a-Si:H
11.01.2017
Цель: установление закономерностей электронно-энергетического строения, фазового состава и оптических свойств нанокомпозитов a-SiOx–a-Si:H с нанокластерами и нанокристаллами кремния. Проведено исследование электронного строения и фазового состава кремниевых аморфных пленочных нанокомпозитных структур. Получены новые экспериментальные данные об атомном и электронном строении, фазовом составе и свойствах аморфных нанокомпозитных пленочных структур с наночастицами кремния малых размеров. Даны объяснения актуальным для науки и технологии результатам.
ГРНТИ
29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
29.19.24 Электронная структура твердых тел
29.19.31 Полупроводники
Ключевые слова
ЭЛЕКТРОННО-ЭНЕРГЕТИЧЕСКОЕ СТРОЕНИЕ
ФАЗОВЫЙ СОСТАВ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ КОМПОЗИТЫ
АМОРФНЫЕ ПЛЕНКИ
КРЕМНИЙ И ЕГО ОКСИДЫ
НАНОКЛАСТЕРЫ
Детали
Автор
Паринова Елена Владимировна
Вид
Кандидатская
Целевое степень
Кандидат физико-математических наук
Дата защиты
22.12.2016
Организация защиты
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный университет"
Организация автора
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный университет"
Похожие документы
Атомное и электронное строение, электрические и оптические свойства композитных пленок Si-SiOx
0.932
Диссертация
Отчёт о научно-исследовательской работе «Исследование структуры и свойств нанокомпозитных металлсодержащих кремний-углеродных пленок».
0.924
ИКРБС
Электронная, атомная структура и фазовый состав композитных пленок Al-Si
0.918
Диссертация
Исследование структуры и свойств нанокомпозитных металлсодержащих кремний-углеродных пленок
0.915
НИОКТР
Исследование структуры и свойств нанокомпозитных металлсодержащих кремний-углеродных пленок
0.915
НИОКТР
Исследование структуры и свойств нанокомпозитных металлсодержащих кремний-углеродных пленок
0.915
НИОКТР
Развитие физико-технологических подходов к формированию и диагностике эпитаксиальных интегрированных A³B⁵/Si-гетероструктур
0.912
ИКРБС
Исследование оптических и электрических свойств нанокомпозитов на основе регулярных пористых матриц при введении в матрицы полупроводниковых материалов
0.912
ИКРБС
Изучение электронного и атомного строения нанослоев Al2O3 при контакте с TiN и диэлектриков на основе SiO2
0.911
Диссертация
Исследование оптических и электронных свойств гибридных наноструктур на основе полупроводников и диэлектриков
0.910
ИКРБС