Состав, структура и оптические свойства пленок кремния, полученных методом струйного плазмохимического осаждения

Разработан новый способ получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния методом, основанным наосаждении радикалов силана как продуктов его диссоциации в плазме ВЧЕ-разряда вне камеры осаждения, споследующим формированием из продуктов разложения сверхзвуковых струй, истекающих в вакуумную камеруосаждения через систему сверхзвуковых сопел; позволяющий получать пленки приборного качества с высокимискоростями осаждения порядка 1-10 нм/с на больших площадях подложек с высокой степенью равномерности как потолщине, так и по свойствам пленок. Определены механизмы формирования пленок аморфного кремния.Экспериментально определено, что пленки соответствуют модели случайной идеальной сетки со средними отклонениями углов связей до 10°, содержат значительное количество водорода (от 10 до 50%), существующего в видекомпенсированных микрополостей, образованных преимущественно связями Si-Si и содержащих на границахзначительное количество водорода; оптимальные электронные свойства соответствуют минимальной столбчатоймикроструктуре в пленке.