Моделирование показателей радиационной стойкости кремниевых интегральных схем

Цель: разработка методов, моделей, алгоритмов и программ моделирования кремниевых интегральных схем (ИС) для проектирования и прогнозирования (ПРС) в условиях воздействия радиационных эффектов. Разработаны: методы математического моделирования ПРС кремниевых ИС на основе диффузионно-дрейфового приближения; модели физических параметров и процессов, происходящих в кремнии и оксиде кремния при комплексном воздействии радиационных эффектов и температуры; статистические методы прогнозирования ПРС кремниевых ИС с учетом температуры среды. Созданы модели физических параметров кремния и оксида кремния, входящих в фундаментальную систему уравнений диффузионно-дрейфового приближения. Предложена открытая нелинейная детерминированная структурно-физическая модель р-n-перехода на основе диффузионно-дрейфового приближения. Разработана температурно-зависимая модель мгновенной составляющей переходного ионизационного тока р-n-перехода. Приведен алгоритм учета ограничения глубины сбора ННЗ геометрическими размерами квазинейтральных слоев. Разработаны расчетно-экспериментальная модель радиационно-индуцированной защелки, расчетно-экспериментальные численный и аналитический методы прогнозирования ПРС кремниевых ИС, вероятностно-статистический расчетно-экспериментальный метод анализа и прогнозирования ПРС биполярных ИС в условиях действия эффектов смещения ИИ.