Диссертация
№ АААА-В18-418042590012-6Электростатические методы исследования динамики ЭУФ-индуцированной плазмы
25.04.2018
Исследована низкоплотная плазма, образующаяся в водороде вблизи поверхности, облучаемой экстремальным ультрафиолетовым (ЭУФ) излучением с длиной волны 13,5 нм. Плазма образуется в результате прямой ионизации фотонами и ударной ионизации фотоэлектронами, выходящими из поверхности. Отличительная особенность такой плазмы - короткое время формирования (около 100 нс) и короткое время распада (несколько мкс). Приводятся диагностические инструменты, разработанные специально для такой плазмы, и результаты исследований, проведённых с помощью этих инструментов. На основе полученных результатов сделаны выводы о механизмах формирования плазмы во время импульса ЭУФ-излучения и энергетическом спектре ионов, приходящих на поверхность в процессе распада.
ГРНТИ
29.27.49 Диагностика плазмы
Ключевые слова
ЭУФ-ЛИТОГРАФИЯ
ФИЗИКА ПЛАЗМЫ
ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЫ
Детали
Автор
Абрикосов Алексей Алексеевич
Вид
Кандидатская
Целевое степень
Кандидат физико-математических наук
Дата защиты
02.04.2018
Организация защиты
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "ИНСТИТУТ ОБЩЕЙ ФИЗИКИ ИМ. А.М. ПРОХОРОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
Организация автора
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)"
Похожие документы
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ДИНАМИКИ ПЫЛЕВЫХ ЧАСТИЦ И ПЛАЗМЕННО-ПЫЛЕВЫХ СРЕД (промежуточный, этап 2.1)
0.903
ИКРБС
Оптическое излучение плазмы наносекундных разрядов, формируемых в неоднородном электрическом поле в условиях генерации убегающих электронов
0.894
Диссертация
Пространственно-временная динамика импульсных ЭУФ и УФ – индуцированных плазм
0.893
НИОКТР
Рентгеноспектральная диагностика плазмы, формируемой при воздействии сверхкоротких лазерных импульсов петаваттной мощности на твердотельные мишени
0.890
Диссертация
Разработка методов диагностики плазмы и ее взаимодействия с поверхностью
0.887
ИКРБС
Пространственно-временная динамика ионизационных процессов в наносекундных разрядах в инертных газах с протяженным полым катодом
0.885
Диссертация
Электростатическая зарядка проводящих и диэлектрических мишеней в электронно-пучковой плазме
0.884
Диссертация
Генерация плазмы высокой степени ионизации в импульсных наносекундных газовых разрядах
0.882
НИОКТР
Свойства и применение низкотемпературной плазмы, создаваемой электронным пучком в форвакуумном диапазоне давлений. (Итоговый)
0.881
ИКРБС
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ И ЧИСЛЕННОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИХ ОСОБЕННОСТЕЙ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ С МИКРОЧАСТИЦАМИ
0.881
ИКРБС