Разработка конструкторско-технологических способов создания микроэлектромеханического датчика угла наклона

21.12.2018

Цель: исследование конструкторско-технологических способов изготовления микроэлектромеханических датчиков угла наклона, исследование их конструкторских параметров, технологических режимов производства, проведение испытаний изготовленных образцов. Разработана трехмерная модель для исследования влияния изменений конструкции на характеристики чувствительного элемента. Результаты моделирования подтверждают работоспособность и надежность выбранной конструкции чувствительного элемента. Проведены анализ и оптимизация параметров процесса плазмохимического травления с целью создания вертикальных стенок в процессе глубокого плазмохимического травления кремния при реализации микромеханического элемента датчика заданной конструкции. Разработаны технологический маршрут изготовления микроэлектромеханического датчика угла наклона, процесс калибровки датчика угла наклона для минимизации разброса параметров датчиков в партии, минимизации себестоимости, повышения метрологических характеристик разрабатываемых изделий. На основе разработанных технологий изготовлены и испытаны действующие образцы датчиков. Проведены измерения их параметров. Установлено, что полученные значения не уступают требованиям конкурентных изделий.

ГРНТИ

47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники

59.31.31 Приборы для измерения параметров движения

Ключевые слова

ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ

ДАТЧИК УГЛА НАКЛОНА

ТРАВЛЕНИЕ

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПОГРЕШНОСТИ

МАРШРУТ

ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ.

Детали

Автор

Чжо Мьо Аунг

Вид

Кандидатская

Целевое степень

Кандидат технических наук

Дата защиты

22.11.2018

Организация защиты

Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"

Похожие документы

Разработка технологии плазменного травления для изготовления чувствительных микромеханических элементов сенсоров угловой скорости (МЭМС-УС)

0.934

НИОКТР

Разработка конструкции и моделирование чувствительных элементов МЭМС УС. Разработка эскизной конструкторской и технологической документации на чувствительные элементы МЭМС УС

0.934

ИКРБС

Разработка методики проектирования интегральных микромеханических сенсоров линейных ускорений с тремя осями чувствительности

0.916

Диссертация

Разработка конструктивно-технологических решений создания микросенсорного интеллектуального магниточувствительного интегрального датчика положения для контроля подвижных узлов современных интеллектуальных робототехнических комплексов на основе микросистемной техники. Обобщение и оценка результатов исследований

0.915