Структура и свойства тонких пленок ZrО₂:Y₂O₃, формируемых методом магнетронного распыления

Объект исследования - керамика ZrО₂:Y₂O₃, выполняющая роль слоя электролита твердооксидного топливного элемента (ТОТЭ). Цель исследования - установление зависимостей между режимами формирования слоя электролита, его свойствами и электрохимическими характеристиками ТОТЭ. Факторами, определяющими качество электролита, являются микроструктура поверхности пористой подложки и энергия ионов, бомбардирующих подложку в процессе осаждения покрытия. Определены технологические режимы, обеспечивающие формирование плотного покрытия толщиной 3 - 5 мкм, представленного кубической фазой, с хорошей адгезией между осаждаемым слоем и подложкой, подавленной столбчатой структурой без проведения дополнительного высокотемпературного отжига, и приводящие к повышению эффективности ТОТЭ.