Контактные явления в сегнетоэлектрических конденсаторных структурах с тонкими пленками цирконата-титаната свинца

Цель работы - экспериментальное исследование контактных явлений на границе раздела электрод/пленка методом наведенного тока и изучение их влияния на вольт-амперные характеристики сегнетоэлектрических конденсаторных структур с тонкими пленками ЦТС.Показано, что асимметрия локальных электрических полей, наблюдаемая методом наведенного тока на интерфейсах сегнетоэлектрических конденсаторов Ir/PZT/Pt, Pt/PZT/Pt, обусловлена различными технологическими условиями формирования границ раздела пленка/электрод и неравномерным распределением кислородных вакансий по толщине пленки. Представлен новый подход к интерпретации вольт-амперных характеристик сегнетоэлектрических конденсаторов Ir/PZT/Pt, Pt/PZT/Pt и Au/PZT/Pt с учетом экспериментально установленной зависимости толщин областей обеднения у границ раздела пленка/электрод от прикладываемого напряжения различной полярности. Вольт-амперные характеристики структуры Au/PZT/Pt обусловлены различными электрофизическими свойствами контактов пленки с электродами и определяются нижней границей раздела PZT/Pt в качестве диода, включенного в прямом и обратном направлении при положительной и отрицательной полярности соответственно. Разработана оригинальная методика определения диффузионной длины носителей заряда в сегнетоэлектрических конденсаторных структурах с тонкими пленками цирконата-титаната свинца.