Разработка и исследование технологических основ создания кремний-углеродных пленок для сенсоров газов и электродов электрохимических конденсаторов.

В работе исследованы свойства и методы получения кремний-углеродных пленок, в том числе и модифицированных атомами металлов, для целей функциональной электроники, а именно для создания электродов электрохимических конденсаторов и сенсоров газов с улучшенными характеристиками. Разработаны и исследованы технологические режимы осаждения кремний-углеродных пленок, в том числе и модифицированных атомами металлов, на подложки из кремния и поликора с проводящим слоем Cr-Cu. Установлены механизмы роста кремний-углеродных пленок. Разработан технологический маршрут изготовления сенсоров газов на основе кремний-углеродных пленок для топологий двух типов. Установлены закономерности проявления электрофизических и газочувствительных свойств экспериментальных образцов сенсоров газов на основе кремний-углеродных пленок, в том числе и модифицированных атомами металлов, в зависимости от топологии сенсора. Изготовлены электроды электрохимических конденсаторов на основе кремний-углеродных пленок, в том числе пленок, модифицированных марганцем и никелем и исследованы их характеристики.