Разработка и исследование оптических высокоразрешающих датчиков контроля положения рабочих поверхностей для оперативного управления лазерными технологическими процессами

Объект исследования – оптико-электронные бесконтактные методы контроля положения поверхностей в ходе лазерных технологических процессов. Предмет исследования – лазерная микрообработка поверхности оптически прозрачных сред с высоким разрешением. Целью работы является разработка, исследование и испытание оптических датчиков контроля положения поверхностей с высоким разрешением для оперативного управления лазерными технологическими процессами. Методы исследования: методы геометрической и волновой оптики, компьютерное моделирование оптических систем и физический эксперимент. Теоретические и практические результаты и их новизна. В работе решена задача разработки, создания, исследования и внедрения высокоразрешающих оптико-электронных датчиков поверхности для лазерных технологических установок. На их основе разработаны прецизионные лазерные технологические комплексы для лазерной трехмерной микро- и нанообработки. Степень и эффективность внедрения – разработанными датчиками автоматической фокусировки на основе ножа Фуко были оснащены коммерческие модели круговых лазерных записывающих систем, которые были поставлены в Харбинский институт технологий (Китай), Самарский государственный аэрокосмический университет, в АО «Производственное объединение «Уральский оптико-механический завод» имени Э.С. Яламова», в АО «Новосибирский приборостроительный завод». Область применения: оптическое приборостроение, лазерное технологическое оборудование.