Моделирование влияния полевой и термополевой электронной эмиссии из электродов с тонкими диэлектрическими пленками на их взаимодействие с низкотемпературной газоразрядной плазмой

Объект исследования: электроды газоразрядных приборов. Цель работы: исследование закономерностей взаимодействия низкотемпературной газоразрядной плазмы с поверхностью катода при наличии на нем тонкой диэлектрической пленки. Методы исследования: математическое моделирование с использованием численных методов решения уравнений. Построены модели слаботочного газового разряда и катодного слоя тлеющего разряда при наличии на катоде тонкой диэлектрической пленки, в которых принимается во внимание полевая и термополевая эмиссия электронов из металлической подложки катода в пленку под действием возникающего в ней в разряде электрического поля, и рассчитаны характеристики разряда как функции плотности разрядного тока. Результаты работы могут быть использованы для изучения влияния параметров диэлектрической пленки и температуры катода на напряжение поддержания разряда, определяющее в значительной степени интенсивность распыления катода в нем и долговечность газоразрядного прибора.