Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками

Цель - комплексно изучить процессы создания защитных и функциональных оксидных, боридных и нитридных покрытий при электронно-лучевом испарении мишеней материалов, обладающих низкой электрической проводимостью, с использованием форвакуумных плазменных источников электронов, а также в сочетании электронно-лучевого воздействия с процессами ионного-плазменного синтеза. Определить для форвакуумных плазменных источников электронов оптимальные параметры электронных пучков и пучковой плазмы, обеспечивающие наибольшую эффективность процессов электронно-лучевого синтеза многофункциональных оксидных, боридных и нитридных покрытий при электронно-лучевом испарении мишеней из материалов с низкой электрической проводимостью. Разработать и модифицировать диагностическое оборудование для исследования масс-зарядового состава плазмы, генерируемой электронным пучком в форвакуумной области давлений, в условиях электронно-лучевого синтеза диэлектрических покрытий. Отладить методики измерений параметров покрытий и контроля процессов их нанесения при электронно-лучевом испарении диэлектриков и детально изучить физические процессы электронно-лучевого синтеза многофункциональных оксидных, боридных и нитридных покрытий, их структуры, параметры, характеристики и свойства. Продемонстрировать улучшение механических, коррозионных, тепловых и электроизоляционных свойств синтезированных покрытий на поверхности широкой номенклатуры материалов, выработать предложения по возможному использованию полученных покрытий для решения актуальных практических задач.