Разработка научно-методических основ управления качеством базовых технологий, используемых при проектировании и производстве сверхбольших интегральных схем

Разработаны научно-методические основы управления качеством базовых технологий в расширенном представлении, включающем разработку правил проектирования, комплектов средств проектирования схем и конструкции сверхбольших интегральных схем. Определена методика квалификации базовых технологий, предложен метод ускоренной оценки адекватности моделей, метод оценки влияния фактических отклонений при проектировании конструкции на результативность базовых технологий. Предложена структура специализированной системы управления качеством базовых технологий для повышения эффективности их применения.