Пространственно-временная динамика ионизационных процессов в наносекундных разрядах в инертных газах с протяженным полым катодом

Актуальность темы исследования. В последние годы широкое развитие получили прецизионные плазменные технологии, позволяющие проводить различные технологические операции на уровне отдельных атомарных слоев материала. Ключевым элементом таких технологий является плазменный реактор, формирующий вблизи поверхности материала низкоэнергетичные ионные потоки с управляемой энергией ионов. Для создания плазмы в таких реакторах перспективными являются газовые разряды с полым катодом, поэтому, данные об основных параметрах плазмы и о динамике их пространственно-временного распределения крайне важны для оптимизации технологических процессов. Научная новизна. В представленной диссертации впервые выполнены экспериментальные исследования и численное моделирование пространственно-временной динамики развития ионизационных процессов в наносекундных разрядах с протяженным полым катодом в инертных газах в диапазоне давлений газа 1-40 Торр. Эксперимнтально получена плазменная конфигурация в виде «плазменного листа» как широкоапертурный источник ионных потоков с геометрическими размерами 50х20 мм с использованием высокоэнергетичных электронов, формируемых в процессе электрического пробоя газа.