Программно-аппаратный комплекс автоматизации технологического процесса зондового контроля электрических параметров интегральных схем

Развитие отечественного производства интегральных схем (ИС) требует автоматизации зондового контроля. Наличие импортного оборудования и программного обеспечения с ограниченным функционалом и сложностями модернизации создает зависимость и затрудняет внедрение инноваций. Разработка собственной АСУТП для зондового контроля позволит обеспечить технологическую независимость, снизить трудозатраты и улучшить качество контроля ИС на отечественных предприятиях. Объектом и предметом исследования являются: технологический процесс зондового контроля ИС на неразделённых пластинах и алгоритмы автоматизации, передачи, хранения и обработки данных зондового контроля. Задачи решенные при выполнении работы: 1. Анализ существующих систем зондового контроля и выявление проблем. 2. Выбор методологии, средств и технологий для АСУТП, с акцентом на модульность. 3. Разработка подсистем управления оборудованием, сбора данных и хранения результатов. 4. Разработка алгоритмов работы АСУТП и программно-аппаратного комплекса. Новизна работы заключается в: Методике программной юстировки исполнительных механизмов перемещения пластины с использованием цифровой обработки изображений эталонного фотошаблона. Применении языка математического преобразования результатов измерений, основанного на принципах визуального программирования. Комплексной программной системе с примененными оригинальными алгоритмами, обеспечивающими полный цикл автоматизированного зондового контроля. Практическая значимость: Разработан программно-аппаратный комплекс, адаптируемый к различным задачам отечественных предприятий микроэлектроники. Результаты работы применены на вновь разработанной зондовой станции «Terra-200» (производство АО «НИИПП») в рамках комплексного проекта «Разработка базовой технологии производства комплексов программно-аппаратных для измерения параметров монолитных интегральных схем на пластине с использованием зондовых стронций в диапазоне до 67 ГГц с возможностью расширения диапазона частот до 650 ГГц». Разработанное технологическое оборудование поставлено на ряд предприятий электронной промышленности РФ (АО «Оптрон», АО «НПП «Салют», АО «ОНИИП» и д.р.). Личный вклад: Автор выполнил основную часть исследований, разработки алгоритмов, ПО и АСУТП. Работа выполнена в АО «НИИПП» и ФГАОУ ВО «ТУСУР». Официальные оппоненты: Горюнов Алексей Германович, д.т.н., доцент, руководитель отделения ядерно-топливного цикла инженерной школы ядерных технологий Национального исследовательского Томского политехнического университета, г. Томск; Казанцев Михаил Александрович, к.т.н., начальник отдела АСУП АО «НПП «Радиосвязь», г. Красноярск дали положительные отзывы на диссертацию. Ведущая организация – ФГБОУ ВО «Новосибирский государственный технический университет» Соискатель имеет 11 опубликованных работ, из них в рецензируемых научных изданиях из списка ВАК опубликовано 3 работы, 2 статьи в базе данных Web of Science. Получено 2 свидетельства о государственной регистрации программы для ЭВМ.