Высокочувствительные и высокоселективные газоаналитические однокристальные мультисенсорные линейки на основе наноразмерных оксидных материалов

Диссертационная работа посвящена разработке газоаналитических однокристальных мультисенсорных линеек на основе поликристаллического слоя диоксида олова, обработанного ИК-лазером, и мезо-наноструктурированных слоев оксидов цинка, марганца, никеля и кобальта, полученных методом электрохимического осаждения, и исследованию их физических и хеморезистивных характеристик. Выполнено комплексное экспериментальное исследование формирования данных мультисенсорных линеек и их газо-чувствительных и газо-селективных свойств при воздействии паров спиртов и кетонов, 0,1-10 ppm, в смеси с осушенным воздухом в широком диапазоне температур и при облучении с длиной волны в УФ-диапазоне. Показано, что электронный транспорт в поликристаллическом слое SnO2 протекает согласно механизму коррелированных барьерных прыжков со снижением потенциальных барьеров при воздействии паров этанола и ацетона в смеси с осушенным воздухом. Проведена спектроскопия импеданса сенсорных элементов в составе разработанных мультисенсорных линеек, в том числе при воздействии газов-аналитов, и построены эквивалентные схемы по полученным экспериментальным данным.