Исследование поверхностного профиля и локальных оптических свойств наноструктурированных объектов сканирующим зондом на основе волоконного интерферометра Фабри-Перо

Цель: разработка метода ближнепольной оптической микроскопии, позволяющей проводить исследования как топографической структуры, так и локальных оптических свойств наноструктурированных объектов с высоким пространственным разрешением. Предложен подход к реализации высокоточного метода картирования малых локальных изменений показателя преломления поверхности исследуемого объекта, основанный на зависимости спектрального положения пиков спектра отражения интерферометра Фабри - Перо, в одном из зеркал которого сформирована наноразмерная диафрагма, от показателя преломления поверхности исследуемого объекта, находящегося в «ближнем» поле нанодиафрагмы. Показано, что регистрация величины смещения пиков спектра отражения волоконного интерферометра Фабри - Перо позволяет картировать профиль распределения показателя преломления поверхности с точностью порядка ~ 0,01 единиц показателя преломления и латеральным разрешением, определяемым диаметром нанодиафрагмы (до 50 нм). Предложен подход, позволяющий реализовать регистрацию показателя преломления предельно малых локальных изменений показателя преломления поверхности исследуемого объекта с существенно большей чувствительностью и латеральным разрешением.