Технология нанесения многослойных функциональных нанопокрытий при низких и сверхнизких давлениях

Исследован тлеющий разряд в сверхзвуковом потоке газа при низких и сверхнизких давлениях. Цель работы - изучение влияния сверхзвукового потока газа на формирование пространственной структуры тлеющего разряда при низких и сверхнизких давлениях и создание технологии нанесения нанопокрытий при низких и сверхнизких давлениях. Впервые экспериментально изучен тлеющий разряд в поперечном сверхзвуковом потоке газа при низких давлениях в случае, когда поток занимает лишь часть пространства между электродами. Показано, что область пространства со сверхзвуковым потоком газа обладает более высокой концентрацией частиц газа и поэтому становится генератором заряженных частиц. Именно в этой области концентрируются приэлектродные зоны тлеющего разряда. Подобная организация тлеющего разряда найдет применение в процессах плазменного нанесения покрытий при сверхнизких давлениях. Выполнено экспериментальное исследование распределения температуры нейтрального газа в плазме тлеющего разряда со сверхзвуковой прокачкой газа в ограниченной области разрядного промежутка. Обнаружено, что в области сверхзвукового потока температура газа резко уменьшается. Следовательно, в этой области еще больше возрастает концентрация нейтральных частиц и тем самым обеспечивается возможность осуществления разряда при сверхнизких давлениях. Также приведены результаты экспериментальных исследований распределения температуры вдоль оси разрядной камеры.