ИКРБС
№ АААА-Б16-316040710267-1Исследование системных связей и закономерностей в структурах нано- и микроэлектромеханических систем методами численного моделирования для создания высокоточных датчиков механических величин, устойчивых к воздействию дестабилизирующих факторов.
11.03.2016
Проведено исследование нано- и микроэлектромеханических систем (НиМЭМС) методами математического моделирования. Получены зависимости и закономерности между характеристиками НиМЭМС. Разработаны методы, направленные на уменьшение воздействия дестабилизирующих факторов на результат измерения датчика. Предложены конструкция НиМЭМС, алгоритмы и методы для компенсации воздействия дестабилизирующих факторов на указанную НиМЭМС, метод калибровки датчика с указанной НиМЭМС. Реализованы алгоритмы, используемые на этапах калибровки и измерения.
ГРНТИ
50.09.37 Датчики и преобразователи
29.19.16 Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
Ключевые слова
НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКАЯ СИСТЕМА
ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНЫЙ ДАТЧИК
МОДЕЛИРОВАНИЕ
Детали
НИОКТР
№ 01201463977
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации
Исполнитель
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Пензенский государственный университет"
Похожие документы
Разработка математических моделей элементов нано- и микро-электромеханических систем и определение областей их динамической устойчивости и рабочих зон в условиях высокоградиентных электромагнитных и температурных воздействий
0.935
НИОКТР
Математические модели динамики компонентов нано- и микроэлектромеханических датчиков с учетом термо и электроупругости
0.918
НИОКТР
Разработка теоретических основ, моделей и методов математического моделирования наноразмерных структур для интеграции в элементы компонентной базы мехатронных устройств и электронных приборов
0.916
НИОКТР
Математическое моделирование нелинейной динамики и алгоритмические основы анализа истинности детерминированного хаоса в выходных сигналах размерно-зависимых элементов микромеханических датчиков инерциальной информации в температурном поле с учетом контактного взаимодействия
0.914
НИОКТР
Нелинейная динамика чувствительных элементов нано- и микро- электромеханических систем (МЭМС и НЭМС) с учетом различного типа нелинейностей в условиях тепловых, вибрационных и шумовых воздействий применяемых в приборостроении
0.914
НИОКТР
Уточненные математические модели планарных чувствительных элементов нано и микроэлектромеханических датчиков с учетом квантовых эффектов, электростатических сил, сил слабого взаимодействия и температурных воздействий
0.912
ИКРБС
Нелинейная динамика компонентов наноэлектромеханических датчиков в экстремальных условиях эксплуатации при наличии возмущающих факторов различной физической природы (электростатические силы, тепловые воздействия и шумовые поля)
0.910
НИОКТР
-Разработка математических моделей и исследование нелинейной динамики нано- и микроэлектромеханических сенсоров, основанных на явлении модальной локализации колебаний в слабо связанных системах при электростатическом и лазерном термооптическом возбуждении с учетом связанности тепловых, электрических и механических процессов
0.910
НИОКТР
Математические предиктивные модели изменения характеристик чувствительных элементов нано- и микроэлектромеханических датчиков, и волоконно-оптических гироскопов в результате воздействия полей различной природы (радиационные, температурные, гидродинамические, инерционные и др.)
0.909
НИОКТР
Нелинейная динамика чувствительных элементов нано- и микро- электромеханических систем (МЭМС и НЭМС) с учетом различного типа нелинейностей в условиях тепловых, вибрационных и шумовых воздействий применяемых в приборостроении
0.909
ИКРБС