Исследование перспективных конструкций и технологических принципов формирования оптоэлектронных приборов нового поколения (микросистема для прямого оптического тепловидения)

Объект исследования - неохлаждаемые ИК-фотоприемники с оптическим считыванием на основе биморфных структур МОМС. Цель исследования - изучение принципов и разработка конструктивно-технологических методов создания микросистем с оптическими входами-выходами (микрооптомеханических систем) для устройств прямого оптического тепловидения на основе термомеханического эффекта для построения перспективных приборов прямого зрительного восприятия спектрально-преобразованного ИК-изображения. Разработаны и изготовлены экспериментальные образцы МОМС, исследованы их характеристики; на этой основе создан макет преобразователя инфракрасного изображения в видимое и исследованы его характеристики. Получены измерения параметров макета ИК-преобразователя; проведено обобщение разработанных методов и методик проведения исследований. Дана оценка эффективности получаемых результатов исследования конструкций и технологических принципов формирования микросистемы для прямого оптического тепловидения в сравнении с современным научно-техническим уровнем (в том числе оценка создания конкурентоспособной продукции). Проведены дополнительные патентные исследования в соответствии с ГОСТ Р 15.011-96. Создан проект технического задания на ОКР по разработке современных микросистем прямого оптического тепловидения «Исследования технологических принципов формирования микросистемы для прямого оптического тепловидения в части создания кристаллов МОМС».