Разработка эскизной технической документации и изготовление экспериментального образца

Подготовлена методика проектирования радиационно стойких СВЧ СФБ, представляющая собой основные этапы проектирования СВЧ интегральных схем с применением современных средств автоматизированного проектирования. Разработка СВЧ-микросхем требует использования программ, позволяющих осуществлять высокоточное моделирование электрических схем в СВЧ-диапазоне, таких как, например, САПР GoldenGate, позволяющая как проводить расчет электрических схем с учетом высокочастотных эффектов, так и проводить трехмерное электромагнитное моделирование металлизированных элементов схемы, таких как межсоединения, интегральные катушки индуктивности и микрополосковые линии. Разработана эскизная конструкторская документация для изготовления экспериментальных образцов. Обобщены сведения по методикам экстракции физико-математических моделей активных и пассивных элементов радиационно стойкой технологии КНИ. Подробно рассмотрена универсальная стандартная физическая модель BSIMSOI4, предназначенная для моделирования аналоговых и цифровых СБИС на МОП - транзисторах с субмикронными размерами, изготавливаемых по радиационно стойкой технологии КНИ. Проведены теоретические исследования по методикам экстракции физико-математических моделей активных и пассивных элементов КНИ КМОП. Проанализированы и определены подходы к реализации задач по разработке, изготовлению и измерению тестовых структур, необходимых для создания моделей элементов, а также процесса экстракции их spice-параметров. На основе этих данных выбрана модель BSIMSOI4 для описания моделей КНИ МОП - транзисторов. Представлена подробная методика экстракции spice-параметров модели BSIMSOI4 с использованием САПР IC-CAP (фирма Keysight Technologies (Agilent)) и других моделей пассивных элементов КНИ КМОП - технологии. Для пассивных элементов КНИ КМОП - технологии приведены методики получения простых идеальных моделей, используемых на начальных этапах проектирования электрических схем. Рассмотрены методы измерений и моделирования устройств. По исследуемому объекту «Разработка библиотеки радиационно стойких СВЧ сложнофункциональных блоков на основе 0,18 мкм КНИ КМОП - технологии для создания беспроводных приемопередающих устройств» в соответствии с ТЗ проведены патентные исследования в соответствии с ГОСТ 15.011-96. Исследования проводились на основе анализа литературных источников с целью определения уровня техники по разрабатываемому прикладному научному исследованию.