Разработка технологии химико-механической полировки подложек карбида кремния 4Н политипа диаметром 4 дюйма с низкой плотностью микропор, используемых для производства силовых приборов

Изготовлены опытные образцы монокристаллов карбида кремния сублимационным методом с параметрами, удовлетворяющими требованиям технического задания. Проведены испытания опытных образцов монокристаллов карбида кремния. Разработан комплект документов на технологический процесс химико-механической полировки подложек карбида кремния 4Н-политипа диам. 4 дюйма с низкой плотностью микропор, используемых для производства силовых приборов. Изготовлены опытные образцы подложек карбида кремния. Разработаны программы и методики испытаний опытных образцов подложек карбида кремния. Измерены характеристики опытных образцов подложек после проведения химико-механической полировки. Показано, что проведение химико-механической полировки с давлением 0,5 кг/см² уменьшает шероховатость поверхности до менее 0,3 нм. Разработано ноу-хау «Процесс изготовления атомарно-гладкого профиля поверхности пластины карбида кремния с высокой скоростью обработки», включая сведения, составляющие коммерческую тайну. Предложена технология химико-механической полировки подложек карбида кремния 4Н-политипа диам. 4 дюйма с низкой плотностью микропор, используемых для производства силовых приборов.