ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ (ВТОРАЯ ОЧЕРЕДЬ) Этап 3 ( промежуточный)

30.12.2015

Цель исследования - разработка методов проектирования схемных решений и технологий создания монолитных интегральных схем на нитридных наногетероструктурах; разработка методов, научно-технических и технологических решений по созданию и производству МИС усилителей мощности и малошумящих усилителей для приемо-передающих модулей на частоту 8 - 12 ГГц; разработка методов, научно-технических и технологических решений по созданию кристаллов теплоотводящих подложек для МИС усилителей мощности. На третьем этапе ПНИ «Теоретические и экспериментальные исследования (вторая очередь)» разработаны: проекты топологий МИС УМ и МШУ Х-диапазона на основе электромагнитных расчетов; эскизная техническая (конструкторская, технологическая) документация для изготовления МИС УМ и МШУ Х-диапазона; лабораторная технология изготовления макетов МИС усилителей мощности и малошумящих усилителей Х-диапазона частот. Изготовлены: комплект фотошаблонов для изготовления макетов МИС усилителей мощности и малошумящих усилителей Х-диапазона частот; макеты МИС усилителей мощности и малошумящих усилителей Х-диапазона частот, а также отдельных устройств из состава МИС с целью исследования их параметров. Разработаны программа и методики исследований СВЧ-параметров макетов МИС УМ и МШУ Х-диапазона. Проведено исследование макетов отдельных устройств из состава МИС усилителей мощности и малошумящих усилителей Х-диапазона частот. Выбраны режимы кислородной зачистки поверхности полупроводниковых пластин. Проведена корректировка эскизной КД и ТД по результатам исследований макетов МИС УМ и МШУ. Разработаны программа и методики экспериментальных исследований экспериментальных образцов МИС УМ и МШУ.

ГРНТИ

49.13.13 Проектирование и конструирование устройств связи

Ключевые слова

HEMT ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ ALGAN/ALN/GAN

HEMT ТРАНЗИСТОР

МОНОЛИТНАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА

УСИЛИТЕЛЬ МОЩНОСТИ

МАЛОШУМЯЩИЙ УСИЛИТЕЛЬ.

Детали

НИОКТР

№ 114112170088

Заказчик

Министерство образования и науки Российской Федерации

Исполнитель

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ НАУЧНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ИНСТИТУТ СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ ИМЕНИ В.Г. МОКЕРОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК

Похожие документы

ОТЧЕТО ПРИКЛАДНЫХ НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЯХРазработка конструктивно-технологических решений по созданию семейства микроэлектронных элементов на структурах кремний на изоляторе (КНИ), обеспечивающего возможность создания высокотемпературных датчиков внешних воздействий различного функционального назначенияпо теме:ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПОСТАВЛЕННЫХ ПЕРЕД ПНИ ЗАДАЧ (3- ОЙ ОЧЕРЕДИ)(промежуточный)Этап 3

0.915

ИКРБС

Разработка базовой технологии создания МИС усилителей мощности и малошумящих усилителей на нитридных наногетероструктурах для приемо-передающих модулей на частоту 8 - 12 ГГц. Экспериментальные исследования. Этап 4

0.911

ИКРБС

РАЗРАБОТКА КОНСТРУКЦИЙ И ТЕХНОЛОГИИ СОЗДАНИЯ ГЕТЕРОСТРУКТУР ПРИБОРОВ СВЧ-МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ В ИНТЕРЕСАХ РОССИЙСКОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ (заключительный, этап 3)

0.907

ИКРБС

Этап №3 «Разработка технологических операций изготовления СВЧ транзисторов и компонентов интегральной схемы ТИУ. Изготовление экспериментальных образцов СВЧ фотодиодов. Экспериментальное исследование электрических и оптических параметров интегрального СВЧ фотодиода. Системный расчет и моделирование параметров оптических приемников на основе ИС ФД и ИС ТИУ. Изготовление и измерение экспериментальных образцов интегральных пассивных оптических элементов на кремниевых подложках (волноводы, устройства ввод-вывода, делители). Определение состава, выбор и обоснование металлокерамических корпусов и комплектующих для сборки оптического приемного модуля.»

0.907