ИКРБС
№ АААА-Б16-216102020016-5Экспериментальные исследования многоосевых микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров
28.06.2016
Объект исследования - методы проектирования и создания перспективных многоосевых интегральных микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров с использованием плазменных и лазерных технологий поверхностной микрообработки для микрооптоэлектромеханических систем. Цель исследования - разработка многоосевых микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров, подготовка эскизной конструкторской документации на макеты устройств обработки сигналов многоосевых микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров, подготовка методики изготовления макетов устройств обработки сигналов, изготовление экспериментальных образцов многоосевых микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров с использованием плазменных и лазерных технологий поверхностной микрообработки. Изготовлены макеты устройств обработки сигналов многоосевых микромеханических гироскопов, микромеханических акселерометров и наномеханических акселерометров. Подготовлены программы и методики испытаний: экспериментальных образцов многоосевых микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров; макетов устройств обработки сигналов многоосевых микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров.
ГРНТИ
47.33.37 Приборы функциональной микроэлектроники
47.13.31 Прецизионные и мехатронные технологии электронного производства
Ключевые слова
МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ГИРОСКОП
МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР
НАНОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР
МАКЕТ УСТРОЙСТВА ОБРАБОТКИ СИГНАЛОВ
ПРОГРАММА И МЕТОДИКА ИСПЫТАНИЙ
Детали
НИОКТР
№ 114091540039
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации
Исполнитель
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
Похожие документы
Изготовление экспериментальных образцов многоосевых микро- и наномеханических гироскопов и акслерометров
0.973
ИКРБС
Разработка методов проектирования и создания перспективных многоосевых интегральных микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров с использованием плазменных и лазерных технологий поверхностной микрообработки для микрооптоэлектромеханических систем. Обобщение результатов прикладного научного исследования
0.971
ИКРБС
Отчет о научно-исследовательской работе "Разработка и исследование методов построения многоосевых функционально-интегрированных сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений" по теме: "Теоретические исследования многоосевых функционально-интегрированных микро- и наномеханичсеких сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений"
0.940
ИКРБС
Разработка технологических основ и маршрутов создания многоосевых функционально-интегрированных микро- и наномеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений. Разработка и исследование методов построения многоосевых функционально-интегрированных сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений. Этап 3
0.940
ИКРБС
Разработка конструкции экспериментальных образцов многоосевых интегральных сенсоров линейных ускорений и угловых скоростей. Моделирование конструкции экспериментальных образцов многоосевых интегральных сенсоров. Анализ результатов моделирования конструкции экспериментальных образцов.
0.938
ИКРБС
Теоретическое и экспериментальное исследование динамики новых типов микромеханических гироскопов
0.937
ИКРБС
Разработка конструкторской документации и изготовление экспериментальных образцов многокомпонентных интегрированных микрогироскопа и микроакселерометра
0.935
ИКРБС
Экспериментальные исследования методики проектирования интегрированных микроэлектромеханических систем (МЭМС), объединяющих функции сенсорных, управляющих и исполнительных элементов
0.934
ИКРБС
Теоретическое и экспериментальное исследование динамики новых типов микромеханических гироскопов
0.932
НИОКТР
Разработка микро- и наномеханических многоосевых сенсоров линейных ускорений и угловых скоростей, используемых в инерциальных навигационных системах
0.926
ИКРБС