Проведение исследований в области измерений геометрических величин с целью улучшения метрологических характеристик комплекса эталонных установок, входящих в состав комплекса государственных первичных эталонов прецизионного машиностроения

Цель: создание и ресурсное обеспечение современной базы государственных первичных специальных эталонов. Проведен мониторинг потребностей в этом виде измерений, который показал необходимость совершенствования эталонной установки на базе СЗМ в составе ГЭТ 113-2014 для расширения диапазона до 1•10⁻⁹ м и повышения точности измерений за счет обновления управляющей электроники до значений 3•10⁻³ мкм на площадях, на которых в соответствии с новыми нормами ИСО определяются параметры шероховатости в нанометровом диапазоне. Выполнена привязка измерений напрямую к длине волны стабилизированного He-Ne-лазера при воспроизведении и передаче размера единицы длины в этом виде измерений. В части совершенствования рабочего эталона в области измерений кинематической погрешности эвольвентных зубчатых колес в составе ГЭТ 165-2010 проведена разработка методов и средств (рабочих эталонов) для воспроизведения и передачи единицы длины в области измерений геометрических параметров эвольвентных зубчатых колес в расширенном диапазоне длин до 1х1х1 м, модулей эвольвентных зубчатых колес от 0,4 до 15 мм с погрешностью 0,4∙10⁻⁶ м, с СКО 0,25 мкм и НСП 0,5 мкм. В целях совершенствования ГЭТ 183-2010 исследован макет-прототип на базе вертикальной схемы Физо, осуществлена настройка установки, подтвердившая возможность контролировать детали с отражающими поверхностями, расширен диапазон измеряемых поверхностей до 300 мм как в горизонтальном, так и в вертикальном положении. Обновлено ПО, реализующее фурье-метод. В рамках работ по совершенствованию рабочего эталона в области измерений отклонений от круглости в составе ГЭТ 136-2011 выявлены и компенсированы систематические погрешности биения шпинделя эталонной установки. Калибровка по образцовой полусфере выбранного прототипа экспериментального образца ГЭТ 136 показала соответствие точности измерений требованиям ТЗ. Проведены приемочные испытания экспериментального образца, подтвердившие соответствие его характеристик ТЗ.