Модификация свойств оксидных микро- и наноструктур для использования их в различных устройствах электронной техники

Объекты исследования: оксидные микро- и наноструктуры, синтезированные золь-гель методом. Цель: разработка методик модификации свойств тонких пленок и нанонитей оксидов переходных металлов, которые смогут найти применение в качестве газовых и оптических сенсоров, электрохромных элементов и других устройств электронной техники.Разработаны методики синтеза нанонитей оксидов металлов и методика гидрирования микро- и наноструктур способом плазменной ионно-иммерсионной имплантации, исследованы структурные и физические свойства полученных объектов. Получены нанонити диоксида ванадия, в которых наблюдается фазовый переход металл – полупроводник, нанонити индий-цинк оксида, обладающие высокой чувствительностью к ультрафиолетовому излучению; показано, что легирование водородом пленок диоксида ванадия может привести к их металлизации, а пленок гидратированного пентаоксида ванадия – к существенному усилению проявления внутреннего электрохромного эффекта.