Комплексное исследование электрофизических и физико-химических свойств наноразмерных полупроводниковых структур

Объект исследований на третьем этапе НИР - тонкие нанокристаллические пленки диоксида олова и триоксида вольфрама с добавками каталитических благородных и переходных металлов. Проведено исследование стабильности параметров сенсоров газов и паров ряда веществ, созданных на основе нанокристаллических пленок диоксида олова и триоксида вольфрама, модифицированных добавками благородных, переходных металлов и их оксидов. Использовали методы магнетронного напыления пленок на AVTO 500 (Edwards), ряд операций фотолитографии, термокомпрессию и точечную сварку выводов, сборку корпуса ТО-8. Толщину и микроморфологию пленок контролировали методом атомно-силовой микроскопии (Solver UV). Измеряли проводимость сенсоров в режимах постоянного нагрева и при термоциклировании с использованием разработанных и изготовленных в ТГУ измерительных камер и автоматизированных стендов. Установлены закономерности изменения характеристик изготовленных по оптимизированным технологиям прототипов тонкопленочных сенсоров водорода, монооксида углерода, диоксида азота, сероводорода в процессе долговременных испытаний при воздействии соответствующих газов. Детально обсуждены особенности механизмов деградации характеристик сенсоров. Определены пути повышения стабильности параметров прототипов сенсоров при эксплуатации в условиях меняющейся влажности окружающей среды путем использования материалов с различными добавками и вариации температурных режимов работы.