Обобщение и оценка результатов исследований

Объект исследования - многокомпонентные микроэлектромеханические гироскопы и акселерометры, устойчивые к температурным и механическим воздействиям, в которых применено антифазное первичное движение, и промежуточные тела в сенсорном движении. Разработаны конструкции МЭМС датчиков, имеющие меньшую температурную чувствительность. Созданы система возбуждения первичных колебаний микрогироскопа и схема обработки сигналов, включающая получение информации об измеряемых угловых скоростях, линейных ускорениях и коррекцию погрешностей. Применение антифазных первичных колебаний гироскопа позволяет уменьшить влияние вибрационных колебаний. Для обеспечения ударопрочности предусмотрено наличие упоров, ограничивающих перемещения элементов конструкции. Базовой технологией для изготовления микрогироскопа-акселерометра является технология «кремний на изоляторе». Исследовательские испытания экспериментальных образцов гироскопов-акселерометров показали, что технические характеристики экспериментальных образцов соответствуют требованиям Технического задания. Функционирует сайт (http://portal.tpu.ru/science/projects/tmems), где размещена информация о результатах выполнения проекта.