Исследование структуры и физических свойств прозрачных проводящих слоев, формируемых при ионно-плазменном распылении металлокерамических мишеней на основе широкозонных оксидов

01.03.2017

Цель: исследование структуры, оптических и электрических характеристик легированных и нестехиометричных слоев на основе оксида цинка, синтезированных в неравновесных условиях. Выполнены комплексные вертикально-интегрированные исследования, включающие процессы синтеза и изучение свойств исходных композитных нанопорошков, процесс синтеза на их основе мишеней и процесс магнетронного квазиравновесного осаждения совершенных функциональных оксидных слоев для систем отображения информации с улучшенными структурными, электрическими и оптическими характеристиками. Приведены информация о наиболее важных и основных результатах НИР за 2013 - 2016 гг., а также сведения о результатах интеллектуальной деятельности и публикациях.

ГРНТИ

29.19.16 Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела

47.09.48 Наноматериалы для электроники

29.19.31 Полупроводники

Ключевые слова

ОКСИД ЦИНКА

СТРУКТУРА

МЕЖЗЕРЕННЫЕ ГРАНИЦЫ

ПРОЗРАЧНЫЕ ПРОВОДЯЩИЕ СЛОИ

Детали

НИОКТР

№ 01201354722

Заказчик

Федеральное государственное бюджетное учреждение "Российская академия наук"

Исполнитель

Институт физики им. Х.И. Амирханова - обособленное подразделение Федерального государственного бюджетного учреждения науки Дагестанского федерального исследовательского центра Российской академии наук

Похожие документы

Структура и свойства прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления нестехиометричных мишеней

0.941

Диссертация

Исследование механизмов формирования, микроструктуры, электрофизических и оптических свойств дисперсных, объемных и тонкопленочных функциональных материалов оптоэлектроники и сенсорики

0.930

ИКРБС

Модификация микроструктуры и функциональных свойств тонкопленочных материалов на основе оксида цинка с применением комплексного подхода к их синтезу

0.927

Диссертация

Исследование механизмов формирования, структуры, электрофизических и оптических свойств дисперсных, объемных и тонкопленочных материалов с нанокристаллической структурой на основе многокомпонентных композиций широкозонных оксидов

0.922