ИКРБС
№ АААА-Б17-217041740138-2Особенности структурированных и физических свойств тонких пленок, сформированных методом химического осаждения из растворов. Создание макетных образцов, демонстрирующих преимущества разработанных материалов для создания перспективной элементной базы
30.12.2016
Цель: развитие физико-химических основ получения новых функциональных материалов с низкой температурой формирования для использования в технологических процессах микро- и наноэлектроники. Проведено исследование процессов синтеза исходных металлорганических комплексов и формирования оксидных и неорганически-органических структур с улучшенными электрическими и механическими свойствами. Разработаны методы формирования высокотекстурированных перовскитов для создания нового поколения устройств энергонезависимой памяти, изолирующих диэлектриков с ультранизкой диэлектрической проницаемостью для использования в технологических процессах создания многоуровневых систем металлизации интегральных схем.
ГРНТИ
29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
47.33.31 Интегральные микросхемы
Ключевые слова
АКТИВНЫЕ ДИЭЛЕКТРИКИ
СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКИ
ЦИРКОНАТ-ТИТАНАТ СВИНЦА
ГЕТЕРОСТРУКТУРА. ПОЛЯРИЗАЦИЯ
ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ РАСТВОРОВ. ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
НАНОЭЛЕКТРОНИКА
СИНТЕЗ
СТРУКТУРА
СВОЙСТВА
Детали
НИОКТР
№ 114081360022
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации
Исполнитель
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «МИРЭА – Российский технологический университет»
Похожие документы
Исследование механизмов формирования, структуры, электрофизических и оптических свойств дисперсных, объемных и тонкопленочных материалов с нанокристаллической структурой на основе многокомпонентных композиций широкозонных оксидов
0.933
ИКРБС
Разработка и исследование технологических основ формирования композитных наноструктурированных пленок, а также пленок фоторезиста и других полимеров
0.927
ИКРБС
Функциональные материалы, наноматериалы и технологиипо теме:Новые тонкопленочные материалы для оксидной электроники: прозрачные проводники с р-типом проводимости, MOCVD осаждение пленок и гетероструктур, состав, структура и электрофизические свойства (заключительный)
0.927
ИКРБС
Исследование механизмов формирования, микроструктуры, электрофизических и оптических свойств дисперсных, объемных и тонкопленочных функциональных материалов оптоэлектроники и сенсорики
0.926
ИКРБС
Разработка новых подходов к изготовлению диэлектрических и гибридных наночастиц для приложений в сенсорике
0.925
ИКРБС
Нанесение тонких пленок полупроводников и металлов
0.924
НИОКТР
Функциональные слои перспективной элементной базы микроэлектронных систем, полученные методом низкотемпературного синтеза слоёв оксидов металлов в квазиравновесных условиях
0.924
НИОКТР
Развитие технологии формирования и исследование наноструктур и новых компонентов наноэлектроники на основе полупроводниковых, металлических и сверхпроводниковых слоев
0.924
ИКРБС
Особенности физических свойств пористых тонкопленочных материалов
0.924
ИКРБС
Исследование механизмов формирования, микроструктуры, электрофизических и оптических свойств дисперсных, объемных и тонкопленочных функциональных материалов оптоэлектроники и сенсорики
0.923
ИКРБС