Разработка методов проектирования и создания перспективных многоосевых интегральных микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров с использованием плазменных и лазерных технологий поверхностной микрообработки для микрооптоэлектромеханических систем. Обобщение результатов прикладного научного исследования

Объект исследования - методы проектирования и создания перспективных многоосевых интегральных микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров с использованием плазменных и лазерных технологий поверхностной микрообработки для микрооптоэлектромеханических систем. Цель исследования - разработка методов проектирования, конструкций и технологических маршрутов изготовления многоосевых интегральных микромеханических гироскопов, микро- и наномеханических акселерометров с повышенными функциональными возможностями, заключающимися в возможности регистрации угловых скоростей и линейных ускорений по нескольким осям чувствительности одним сенсорным компонентом. Проведены испытания экспериментальных образцов многоосевых микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров, испытания макетов устройств обработки сигналов многоосевых микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров. Выполнена проверка возможности взаимодействия экспериментальных образцов многоосевых микромеханических гироскопов, микро- и наномеханических акселерометров и макетов устройств обработки сигналов многоосевых микромеханических гироскопов, микро- и наномеханических акселерометров. Разработаны лабораторные технологические регламенты по изготовлению экспериментальных образцов многоосевых микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров с использованием плазменных и лазерных технологий поверхностной микрообработки. Проведены дополнительные патентные исследования. Подготовлены рекомендации по созданию перспективной элементной базы микрооптомеханических систем. Выполнена оценка эффективности полученных результатов в сравнении с современным научно-техническим уровнем. Разработан проект технического задания на проведение ОКР.