Разработка методов диагностики плазмы и ее взаимодействия с поверхностью

Цель: исследование плазмы импульсного магнетронного и пучково-плазменного разрядов и ее взаимодействия с поверхностью в разрядах различного типа для технологических применений. Изучены структура и динамика развития импульсных магнетронных разрядов с помощью оптической диагностики и магнитных зондов. Показано, что для плазмы импульсных магнетронных разрядов характерно периодическое движение неоднородностей, происходящее с частотами порядка 10 кГц. Обнаружены высокочастотные (порядка 100 кГц) явления, связанные с развитием модифицированной двухпотоковой неустойчивости. Разработана методика измерения структуры электрических полей с помощью двухкоординатного магнитного зонда. Исследована структура электрических полей для различных режимов автоколебательного разряда на установке ПР-2. Определены условия перехода разряда из емкостного режима в сильноточный индуктивный. Показано, что этот переход сопровождается ростом переменных электромагнитных полей.