Исследование и разработка физико-технологических методов создания, диагностики и приборно-технологического моделирования элементов микро- и наноэлектроники

Объект исследования - элементы микро- и наноэлектроники. Цель исследования - изучение методов приборно-технологического моделирования магниточувствительных структур; выявление закономерностей плазменного травления кремния для создания наноструктур; совершенствование методик исследований на основе сканирующей зондовой микроскопии. В результате проведения НИР установлены закономерности влияния конструктивно-технологических параметров магниточувствительных структур на их электрические характеристики, созданы расчетные модели n- и p-канального наноразмерного МДП транзистора; установлены закономерности плазменного травления наноразмерных структур; усовершенствована методика проведения измерений в атомно-силовой микроскопии. Полученные результаты могут быть использованы при диагностике наноструктур и создании элементов микро- и наноэлектроники.