Исследование составов многокомпонентных многослойных покрытий различного функционального назначения. Разработка конструктивной схемы генератора плазмы и изготовление прототипа

Проведен аналитический обзор существующих методов и схем установок для нанесения защитных покрытий различного назначения. Выявлено, что магнетронные системы распыления имеют ряд преимуществ перед электронно-лучевыми и дуговыми установками. Определены задачи по решению проблем и усовершенствованию процессов нанесения качественных покрытий. Разработана конструктивная схема нового генератора плазмы, содержащего 12 и более катодов-мишеней, выполненных из материалов, составляющих многослойное покрытие для обеспечения как одновременного распыления мишеней, так и в определенной последовательности в соответствии с расчетным процентным содержанием компонентов при формировании многокомпонентных покрытий. Создан прототип экспериментальной установки для нанесения покрытий. Получены опытные образцы многокомпонентных покрытий различного компонентного состава. Исследованы эксплуатационные характеристики многокомпонентных покрытий различного компонентного состава.