Разработка и изготовление прототипа модульного плазменного прибора для обработки материалов в высокочастотном (ВЧ) газовом разряде пониженного давления

Объект исследования: модульный плазменный прибор для обработки материалов в высокочастотном (ВЧ) газовом разряде пониженного давления. Цели: разработка и изготовление прототипа модульного плазменного прибора для обработки материалов в ВЧ газовом разряде пониженного давления. Полученные результаты: разработка требований к составу и характеристикам систем, выбор компоновочной схемы, проведение сопутствующих расчетов систем, подбор комплектующих и материалов. Разработаны комплект эскизной документации на системы и устройства прибора и его комплектующие, а также регламент испытаний систем прототипа прибора. Изготовлены элементы и узлы прибора и комплектующих, проведена сборка прототипа оборудования. Результаты испытаний систем прототипа прибора, а также объектов обработки при проведении тестовых технологий показали соответствие технических характеристик проектным требованиям. Изложены требования к опытному образцу оборудования. При разработке прототипа заложен потенциал для дальнейшего развития линейки приборов на базе созданной платформы.