РАЗРАБОТКА ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИХ ОСНОВ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ПОЛУЧЕНИЯ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ И УЛЬТРАДИСПЕРСНЫХ КОМПОЗИЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ

Цель: разработка новых технологических процессов в областях механического легирования и литья мишеней из резистивных сплавов на основе хрома. Изучено поведение механически легированных композиционных порошковых материалов на основе алюминия при их термической обработке. В качестве легирующей добавки использовали сумму редкоземельных элементов из никель-алюминиевой лигатуры (лигатура АКЦ). Исследованы: возможность горячего прессования полученных композиционных материалов; влияние процесса механической активации на структурные и морфологические превращения в оксидных (гидроксидных) системах, состоящих из титановых соединений. Определены оптимальные условия механической активации в поликомпонентных оксидных (гидроксидных) системах. Сняты зависимости их структурных и морфологических параметров от параметров процесса активирования. Найдены зависимости свойств конечных продуктов механической активации от различного рода реакционных добавок. Рассмотрены закономерности литья и кристаллизации расплавов при изготовлении мишеней для магнетронного распыления. Разработана технология литья на воздухе распыляемых мишеней из резистивных сплавов на основе хрома, которые могут быть использованы для получения низкоомных резистивных слоев с широким диапазоном удельного сопротивления, например в оптоэлектронике для нанесения промежуточных слоев в полупроводниках тандемного типа с целью повышения их термо- и светостойкости. Проведено исследование с целью разработки способа получения силицида хрома (Cr₅Si₃) с перспективой использования его результатов для литья мишеней указанного состава и магнетронного распыления.