Разработка технологии нанесения твердого электролита LIPON в составе интегрального 3D-литий-ионного аккумулятора

Цель: разработка основ интегральной СБИС-совместимой технологии изготовления тонкопленочных, твердотельных литий-ионных аккумуляторов (ЛИА). Выполнены экспериментальные работы по следующим направлениям: совершенствование технологии изготовления мишени Li₃PO₄, отработка технологии изготовления тестовых структур Pt/LiPON/Pt для исследования их физических характеристик и проводимости (ионной и электронной) и режимов нанесения тонких пленок LiPON (~1 мкм) на пленки SiO₂/Si путем распыления ортофосфата лития при контролируемом парциальном давлении азота, разработка и изготовление установки для исследования температурной зависимости ионной проводимости в интервале температур от -50 до 25°C, разработка математической модели разряда структуры Pt/LoPON/Pt/Ti, получение экспериментальных разрядных кривых в указанном диапазоне температур и их интерпретация на основе математической модели. Предложены лабораторная технология изготовления твердого электролита LiPON в составе тонкопленочного ЛИА, макет ЛИА с определенными параметрами, математическая модель структуры Pt/LoPON/Pt через сопротивление нагрузки, методика определения ионной проводимости LiPON по разрядным кривым на основе математической модели разряда.