Разработка новой технологии создания источника мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок для безмасочного литографа

23.03.2018

Объект исследования: новая технология создания источника мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок для безмасочного литографа. Цель: разработка технологической и конструкторской документации для изготовления экспериментальных образцов матриц катодных узлов. Проведены: разработка технологического маршрута изготовления тестовых образцов одиночного катодного узла, разработка технологического маршрута изготовления экспериментальных образцов матрицы катодных узлов, разработка ЭКД на экспериментальные образцы матриц катодных узлов, разработка ЭКД на стенд для исследования эмиссионной способности одиночного катодного узла.

ГРНТИ

47.13.07 Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники

Ключевые слова

АВТОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ

АНОДНЫЙ УЗЕЛ

КАТОДНЫЙ УЗЕЛ

МНОГОСЛОЙНАЯ РЕНТГЕНОВСКАЯ ОПТИКА

НАНОЛИТОГРАФИЯ

ПОЛЕВОЙ ЭМИТТЕР

ПРОСТРЕЛЬНАЯ МИШЕНЬ

РЕНТГЕНОВСКАЯ МИКРОФОКУСНАЯ ТРУБКА

ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

ЭЛЕКТРОННЫЙ ПУЧОК

Детали

НИОКТР

№ АААА-А17-117121320024-8

Заказчик

Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения"

Исполнитель

Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"

Похожие документы

Разработка новой технологии создания источника мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок для безмасочного литографа

Разработка источника мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок для безмасочного литографа с разрешением лучше 10 нм

0.962

НИОКТР

Проведение исследовательских испытаний экспериментального образца источника мягкого рентгеновского излучения