Исследование процессов силицидообразования в системах Ni/Si и Co/Si на основе наноструктурированного кремния, сформированного металл-стимулированным травлением

Объект исследования: наноструктурированный кремний, сформированный металл-стимулированным и электрохимическим травлением, модифицированный никелем и кобальтом. Цели: теоретическое и экспериментальное исследование влияния морфологии поверхности наноструктурированного кремния, сформированного металл-стимулированным химическим травлением с использованием кластеров Ag и Au, на параметры процессов силицидообразования в системах Ni/Si и Co/Si и исследование влияния типа металлического катализатора на механизм травления монокристаллического кремния. Изучено влияние геометрических характеристик и типа металлического катализатора (Ag и Au) на механизм металл-стимулированного химического травления монокристаллического кремния. Приведены экспериментальные данные о зависимости морфологии наноструктурированных слоев кремния от указанных параметров и теоретическое описание наблюдаемых зависимостей. Проведен анализ эволюции фазового состава в системе Si/Ni, полученной химическим никелированием наноструктурированного кремния, сформированного металл-стимулированным химическим травлением. Показано, что из-за взаимодействия Ni с примесями, в частности, с фосфором определение температурных характеристик процессов силицидообразования затруднено. Рассмотрена эволюция фазового состава электрохимически синтезированных систем Si/Ni и Si/Co на основе наноструктурированного Si. Проведен анализ термического поведения систем Si/Ni и Si/Co в интервале температур от 25°C до 500°C методом дифференциальной сканирующей калориметрии. Определены температурные характеристики процессов твердофазного взаимодействия в системах Si/Ni и Si/Co на основе наноструктурированного Si и последовательность образования фаз.