Изготовление и исследовательские испытания экспериментального образца датчика. Обобщение и оценка результатов.

22.12.2017

Цель: создание ультрапрецизионного голографического датчика линейных перемещений (УГДЛП) для использования его в ультрапрецизионных станках, измерительных машинах, литографах, микроскопах и других высокоточных устройствах. Создан экспериментальный образец ультрапрецизионного голографического датчика линейных перемещений (ЭО УГДЛП). Проведены исследовательские испытания ОЭ УГДЛП в соответствии с разработанной программой и методиками. Показано, что ОЭ УГДЛП обеспечивает возможность измерения перемещения с разрешением 1 нм и точностью 0,2 мкм при максимальной дистанции перемещения 100 мм и максимальной скорости перемещения 100 мм/мин, что полностью соответствует требованиям ТЗ.

ГРНТИ

29.31.33 Физические основы голографии

Ключевые слова

ДАТЧИК ЛИНЕЙНОГО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ОТКРЫТОГО ТИПА

ТОЧНОСТЬ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ

ИНКРИМЕНТАРНЫЙ МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МЕТОД СЧИТЫВАНИЯ

ГОЛОГРАММНЫЙ ОПТИЧЕСКИЙ ЭЛЕМЕНТ

ДИФРАКЦИОННЫЙ ОПТИЧЕСКИЙ ЭЛЕМЕНТ

ПОВЕРХНОСТНЫЙ МИКРОРЕЛЬЕФ

ПЕРИОД РЕШЕТКИ

Детали

НИОКТР

№ АААА-А15-115111950053-6

Заказчик

Министерство образования и науки Российской Федерации

Исполнитель

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана" (национальный исследовательский университет)"

Похожие документы

Разработка экспериментального образца ультрапрецизионного голографического датчика линейных перемещений и изготовление его компонентов

0.949

ИКРБС

Исследование и разработка экспериментального образца ультрапрецизионного голографического датчика линейных перемещений

0.931

ИКРБС

Изготовление экспериментального образца и проведение экспериментальных исследований (Этап 2, заключительный)

0.911

ИКРБС

Исследование и разработка субмикронного оптико-электронного преобразователя линейных перемещений на основе штриховой меры

0.896