Создание оборудования и технологий высокоскоростного осаждения металлических покрытий с использованием магнетронных распылительных систем

Объект исследования: магнетронная распылительная система с частичной теплоизоляцией мишени. Цели: разработка теоретических основ технологии высокоскоростного осаждения металлических покрытий с использованием магнетронных распылительных систем (МРС) и создание экспериментального образца оборудования, с помощью которого эта технология может быть реализована. Была разработана компьютерная программа, описывающая перенос потока эрозионного вещества от поверхности мишени МРС на подложку. Изучены закономерности влияния параметров МРС на пространственно-временные характеристики потока осаждаемых частиц, и исследованы их режимы работы. Получены данные о свойствах покрытий в зависимости от параметров МРС, определены закономерности влияния пространственно-временных и энергетических характеристик плотности потока осаждаемых частиц на них. Разработка технологии и оборудования для высокоскоростного осаждения покрытий имеет большой практический интерес для создания новых материалов.