КОПИЯ - Разработка и испытание опытного образца устройства высокоскоростного магнетронного распыления с разогретой мишенью

Рассчитан, спроектирован и изготовлен опытный образец устройства высокоскоростного магнетронного распыления с разогретой мишенью. Теоретически рассчитана зона эрозии мишени (теоретический коэффициент использования мишени 40%). Смоделированы, рассчитаны и изготовлены теплопроводящие вставки для четырех материалов: титана, алюминия, кремния, циркония и двух вариантов подводимых мощностей 3,5 и 7 кВт. Использование этих вставок позволило контролируемо получать температуру мишеней при указанных мощностях на уровне 0,8 температуры плавления. Проведены испытания и подтверждены технологические и технико-эксплуатационные характеристики устройства для четырех материалов: титана, алюминия, кремния и циркония. Установлено влияние температуры распыляемых вкладок на увеличение скорости осаждения как металлических, так и оксидных покрытий, причем увеличение содержания кислорода в распыляющей среде не влияет на скорость осаждения. Выявлено, что с увеличением температуры распыляемых вкладок структура пленок становится более плотной, а при увеличении содержания кислорода - более микродисперсной. Получены керамические диэлектрические покрытия при скорости осаждения до 40 мкм/ч при пересчете на неподвижную подложку. Определены температурные режимы распыляемых температурных вкладок. Подана заявка на полезную модель «Узел катода магнетронного распылителя» (уведомление о приеме и регистрации заявки в ФИПС от 06.12.2017).