ИКРБС
№ АААА-Б18-218100890022-1

Исследования процессов эпитаксиального роста и свойств гетерострукутр на основе нитрида галлия, выращенных на подложках кремния для реализации высокого структурного совершенства и высокой эффективности излучения (итоговый)

28.12.2017

Изучены свойства гетероструктур, сформированных на подложках Si с промежуточным слоем SiC, синтезированным методом замещения атомов. Показана возможность использования таких подложек для создания светодиодов. Созданы core-shell микрокристаллические светодиодные структуры InGaN/GaN на кремниевых подложках. При протекании тока наблюдалась электролюминесценция микрокристаллов в сине-зеленом спектральном диапазоне. Исследованы процессы релаксации напряжений и снижения плотности дислокаций при газофазной эпитаксии в напряженных гетероструктурах. Показана возможность практического использования разработанной модели.
ГРНТИ
47.13.07 Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
Ключевые слова
НАНОГЕТЕРОСТРУКТУРА
НИТРИД ГАЛЛИЯ
СВЕТОДИОДЫ
ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ
КРЕМНИЙ
Детали

НИОКТР
№ 114101370159
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации
Исполнитель
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур Российской академии наук
Похожие документы
Исследование процессов релаксации формирования дислокаций и свойства наноструктур при эпитаксии нитридных соединений на подложках (итоговый)
0.949
ИКРБС
Изучение методов селективной эпитаксии InGaAlN гетероструктур (итоговый)
0.946
ИКРБС
Квантово-размерная светодиодная гетероструктура InGaN/GaN/Al₂O₃ видимого диапазона длин волн со ступенчато-варизонными барьерными слоями и короткопериодными сверхрешетками
0.943
ИКРБС
Исследование процессов релаксации формирования дислокаций и свойства наноструктур при эпитаксии нитридных соединений на подложках
0.938
НИОКТР
Гетероструктуры для светодиодов видимого диапазона и транзисторов с высокой подвижностью электронов на основе квантово-размерных слоев InGaN, InAlN и короткопериодных сверхрешеток InGaN/GaN
0.937
Диссертация
Получение и исследование слоев нитрида галлия и алюминия методом хлорид-гидридной эпитаксии для приборов электроники и оптоэлектроники
0.936
Диссертация
Наногетероструктуры на основе широкозонных короткопериодных сверхрешеток (In,Al,Ga)N.
0.936
НИОКТР
Наногетероструктуры на основе широкозонных короткопериодных сверхрешеток (In,Al,Ga)N.
0.935
НИОКТР
Исследование методами растровой электронной микроскопии пленок и гетероструктур на основе нитрида галлия
0.935
Диссертация
Широкозонные полупроводники
0.934
НИОКТР