Выбор направления исследований

19.11.2018

Объект исследования - физические процессы в источнике мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок для безмасочного литографа. Цель исследования - разработка источника мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок, состоящей из матрицы катодных узлов, эмитирующих пучки электронов; системы управления пучками электронов; матрицы анодных узлов с прострельной бериллиевой мишенью, генерирующей локальные лучи.

ГРНТИ

29.35.19 Распространение электромагнитных волн

47.29.39 Рентгеновские приборы и излучатели

47.13.07 Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники

Ключевые слова

РЕНТГЕНОВСКАЯ МИКРОФОКУСНАЯ ТРУБКА

НАНОЛИТОГРАФИЯ

ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

МНОГОСЛОЙНАЯ РЕНТГЕНОВСКАЯ ОПТИКА

АВТОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ

ПОЛЕВОЙ ЭМИТТЕР

ЭЛЕКТРОННЫЙ ПУЧОК

ПРОСТРЕЛЬНАЯ МИШЕНЬ

КАТОДНЫЙ УЗЕЛ

АНОДНЫЙ УЗЕЛ

Детали

НИОКТР

№ АААА-А17-117111470092-2

Заказчик

Министерство образования и науки Российской Федерации

Исполнитель

Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"

Похожие документы

Разработка источника мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок для безмасочного литографа с разрешением лучше 10 нм

0.947

НИОКТР

Разработка новой технологии создания источника мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок для безмасочного литографа