ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ НАНОСТРУКТУРИРОВАНИЯ МЕТАЛЛА НА ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

Исследовано ионное распыление в тлеющем разряде наноструктурных и крупнозернистых металлов (никель, железо и цирконий) в среде аргона при напряжении разряда 800 В. Наноструктуру в образцах формировали кручением под высоким давлением. Распыление образцов в тлеющем разряде имитировало условия, при которых работает холодный катод в газоразрядном приборе. Установлено, что поверхность наноструктурного образца распылилась более однородно по сравнению с поверхностью крупнозернистого образца. Шероховатость поверхности наноструктурного образца после распыления меньше, чем шероховатость поверхности крупнозернистого образца. Исследования показали, что наноструктурирование привело к увеличению в 1,1 - 1,5 раз скорости распыления металлов. Глубина проникновения бомбардирующих ионов вглубь металла составляет около 1 нм. Отличия в скорости распыления наноструктурного и крупнозернистого металлов обусловлено отличием их микроструктуры на поверхности. Повышение скорости распыления в результате наноструктурирования металла связано с повышением удельной длины границ зерен на его поверхности.