ИКРБС
№ АААА-Б20-220012490214-5Научно-исследовательские работы по технологиям производства высокоплотных 3D микросборок на основе интегральных схем, сенсоров, интерпозеров
30.12.2019
Объект разработки: технология производства высокоплотных 3D микросборок на основе интерпозеров.Цель работы: разработка технологии изготовления высокоплотных трёхмерных микросборок на основе бескорпусных интегральных схем, чувствительных элементов МЭМС, коммутационных плат со сквозными металлизированными отверстиями в кремнии (интерпозеров) для вычислительных и управляющих систем.По результатам заключительного этапа работы разработана эскизная конструкция макетного образца микросборки инерциального модуля, проведено моделирование элементов кремниевых коммутационных плат, разработана модель сопротивления сквозного металлизированного отверстия в интерпозере, создан технологический маршрут производства высокоплотных 3D микросборок на основе интегральных схем, сенсоров и интерпозеров, разработана программа и методики исследований интерпозера, а также конструкция стенда.
ГРНТИ
47.14.07 Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
47.01.77 Методы исследования и моделирования. Математические и кибернетические методы
Ключевые слова
3D МИКРОСБОРКА
ИНТЕРПОЗЕР
БЕСКОРПУСНАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ
МЭМС
СЕНСОР
Детали
Заказчик
ФОНД ПОДДЕРЖКИ ПРОЕКТОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ ИНИЦИАТИВЫ
Исполнитель
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
Похожие документы
Научно-исследовательские работы по технологиям производства высокоплотных 3D микросборок на основе интегральных схем, сенсоров, интерпозеров
0.985
ИКРБС
Разработка технологии производства высокоплотных 3D микросборок на основе интегральных схем, сенсоров, интерпозеров
0.980
НИОКТР
Передовые технологии корпусирования и производства 3D микросистем
0.940
НИОКТР
Проведение исследований по разработке перспективной технологии создания миниатюрных, высокоинтегрированных 3D микросборок интеллектуальных силовых ключей для транспортных и космических систем
0.924
НИОКТР
Проведение исследований по разработке перспективной технологии создания миниатюрных, высокоинтегрированных 3D-микросборок интеллектуальных силовых ключей для транспортных и космических систем. Выбор направления исследований. Теоретические исследования
0.924
ИКРБС
Разработка программ и методик испытаний, оптимизация технологии создания 3D интерпозера, работающего в качестве носителя для гетерогенной системной интеграции.
0.914
ИКРБС
Исследования методов, конструкций и материалов для создания технологии трёхмерного корпусирования электроники
0.913
НИОКТР
Разработка программ и методик испытаний, оптимизация технологии создания 3D-интерпозера, работающего в качестве носителя для гетерогенной системной интеграции
0.913
НИОКТР
ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ В ОБЛАСТИ РАЗРАБОТКИ ТЕХНОЛОГИЙ СОЗДАНИЯ СТРУКТУР МИКРО – И НАНОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ (промежуточный, этап 2)
0.911
ИКРБС
ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ И ПРИКЛАДНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ, НАПРАВЛЕННЫЕ НА СОЗДАНИЕ ПЕРСПЕКТИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ И УСТРОЙСТВ МИКРО- И НАНОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ (промежуточный, этап 2024 г.)
0.910
ИКРБС