Исследование оксидных мезо- и наноструктур для разработки мультисенсорных систем (заключительный)

Цель: изучение методов изготовления газочувствительных материалов с характеристическими размерами в диапазоне до 100 нм для разработки новых газосенсорных элементов и систем на их основе. Развиты фундаментальные основы новых технологических подходов к изготовлению функциональных газосенсорных элементов и систем на их основе. Проведены исследования роста наноструктур из оксидов цинка, марганца и никеля при различных условиях в рамках метода электрохимического осаждения и характеризация физических свойств этих наноструктур аналитическими физическими методами. Рассмотрено формирование мультисенсорных чипов на основе развитых наноструктур из оксидов цинка, марганца, никеля и кобальта с градиентно различающейся морфологией и фазовой структурой в рамках метода электрохимического осаждения. Проведено сравнительное изучение хеморезистивного отклика таких чипов при температурах нагрева до 350°С на газы-восстановители на примере воздействия органических паров спиртов, добавленных к чистому воздуху в концентрациях в диапазоне от суб-ppm до единиц ppm. Показана возможность различения спиртов одного гомологического ряда с помощью анализа мультисенсорного сигнала, генерируемого чипами на основе различных оксидов, и выполнено сравнение их селективности как среднего расстояния между центрами классов, относящихся к аналитам, в пространстве признаков, созданном при обработке сигнала с помощью линейно-дискриминантного анализа.